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平行密封型門閥XGTP系列

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平行密封型門閥XGTP系列

發布日期:2020-07-08 作者:屹誠(cheng) 點擊:


SMC最新推出了一款平(ping)行密(mi)封(feng)型門閥(fa)XGTP系列。產(chan)品采(cai)用(yong)平(ping)行密(mi)封(feng)結構,可對應(ying)300mm晶圓。適用(yong)于半導體裝置的(de)真空工(gong)藝腔(qiang)(qiang)室與傳(chuan)輸(shu)腔(qiang)(qiang)室之間的(de)密(mi)封(feng)。


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產品參數

???◇ 長(chang)壽命:300萬次(常溫時)

???◇ 低發塵:發塵量減(jian)少到1/5以下(與(yu)舊型號相比)

???◇ 省氣:耗氣量減少22%

???◇ 輕量:14kg(盒式)

???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm

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平行密封構造

門上(shang)升、下降的(de)直線動作和(he)門開閉的(de)夾緊采用平行密封(L motion)構造(zao),降低了摩擦系數,可大幅減少發塵量并延(yan)長使用壽命

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應用場合

半導體(ti)加工過程(cheng)中,針對各工藝腔室之間的隔離。

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